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1nm以下關鍵技術 英特爾研發(fā)2D芯片工藝_焦點熱門

2023-06-25 11:12:24 來源:科技頭條

(資料圖)

6月21日消息,由于半導體工藝越來越復雜,摩爾定律10多年來一直被認為放緩甚至失效,10nm以下制造難度加大,未來10年還要進入1nm以下節(jié)點,迫切需要更先進的技術。

在這個領域,英特爾率先在22nm節(jié)點進入FinFET晶體管時代,在20A、18A節(jié)點上則使用了RibbonFET和PowerVia兩項新技術,再往后又需要改變晶體管結構了,英特爾的目標是全新的2D TMD材料。

其中的2D指的是單層原子組成的結晶體,TMD則是過渡金屬二硫化物的簡稱,具體包括二硫化鉬(MoS2)、二硫化鎢(WS2)和二硒化鎢(WSe2)等材料,這些新材料可實現(xiàn)小于1nm的溝槽厚度,同時具有更好的帶隙和遷移率,也就是高能、低功耗優(yōu)勢。

制備2D TMD材料并不容易,為此英特爾日前宣布跟歐洲CEA-Leti達成合作協(xié)議,開發(fā)300mm晶圓上的2D TMD層轉移技術,后者是這方面的專家,可提供專業(yè)的鍵合及層轉移技術支持,便于英特爾制造出最終的硅基芯片。

這個過程可能需要很多年,英特爾的目標是2030年之后繼續(xù)擴展摩爾定律,也就是進一步提升晶體管密度,提升能,降低成本功耗等。

關鍵詞: 半導體工藝 摩爾定律 晶體管時代 2D

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